原子力显微镜简称AFM,是一种用于研究各类固体样品在纳米至微米尺度的表面形貌,和其纳米结构的工具,常见的核心样品有:
① 无机硬材料:硅片、晶圆、金属、陶瓷、石墨烯等
② 有机高分子材料:聚合物薄膜、高分子纤维、高分子复合材料等
③生物相关材料:蛋白质、DNA、细菌、生物膜、医用植入材料等
④其他:微纳材料、电极材料等
AFM的基本原理是利用一根微米级的弹簧悬臂,其自由端带有一个锥形探针。探针尖端极为锋利,曲率半径通常小于 10 纳米,它会在极近的纳米级距离上扫描样品表面。
当探针在样品表面移动时,探针尖端原子与样品表面原子间的范德华力会发生变化,从而导致悬臂产生垂直位移。
从悬臂背面反射的激光束会照射到四象限光电二极管上,光电二极管的输出信号与悬臂的垂直运动相关,进而反映出样品的表面形貌。
同时AFM的主要功能是高分辨率成像、力学性能表征和电学功能表征等,因此AFM广泛应用于三大领域:
① 芯片半导体与电子行业:用于样品断面形状分析,例如晶圆断面、硅片断面、半导体器件断面;缺陷检测、分析器件漏电、表征晶圆结构或电极表面形貌
② 生物医学与生命科学:开展细胞研究,例如生物大分子结构研究、活细胞表面微纳形貌分析;表征生物材料,用于生物标志物检测与药物研发;
③ 材料科学与新能源:分析各类无机/有机/复合材料的微纳形貌,优化光伏、催化锂电/储能材料的结构优化与性能
其中大连费麦特纳米科技有限公司自主研发的AFM,针对于高科技产品质量控制;太阳能电池、半导体与集成电路;表面工程与材料科学;陶瓷与涂层;聚合物与化工产品;纳米尺度力学与电学性能;病理学、药物合成与医学;生物技术研究等领域尤其适用
①体积小巧,外观设计优雅新颖
费麦特自主研发的AFM设计精巧,机身紧凑,仅占用实验室极小的空间,美观的外观设计也深受用户青睐
① 操作简单,极具用户友好性
费麦特AFM设备的操作极为便捷,且适配所有电脑类型,可搭配个人电脑、一体机或其他任意类型的电脑使用。其局域网功能仅需一根网线,即可完成电脑与设备之间的所有数据传输。
③性能高效,能在最短时间内完成纳米成像
简化的纳米成像操作流程,加之大幅缩短的纳米成像耗时。
优化的调平流程,可在最短时间内完成原子力显微镜探头的精准调平。
设备搭载高性能光学显微镜,可通过它完成扫描点的初始成像与选取。
费麦特采用最新的先进电子技术,大幅提升了新一代控制器的运行性能
借助快速逼近技术实现的省时特性,是费麦特的一大亮点。。
④安装便捷,且设备坚固耐用
1.首先将显微镜的载物台从包装盒内取出放置在桌面上
2.再将测试台取出,通过侧面的旋钮调节测试台,露出前后螺丝孔,把测试台放在显微镜的载物台上,利用盒内扳手将四个短螺丝钉扭紧固定
3.将显微镜底座取出,对准测试台的螺丝孔,用四个长螺丝钉扭紧固定
4.将环形夹具套在显微镜底座上,扭紧前方的旋钮固定
5.将摄像头支架插入显微镜底座中,扭紧前方的旋钮固定
6.将立柱显微镜取出,先把适配器和电源连接线分离,再将立柱探测器放入支架中,然后将电源线重新连接好,并扭紧前方旋钮固定
7.将定位头从设备盒中取出,放置在AFM的三个支撑点上,先将后面两个支撑点固定好,再调整前面的支撑点,使定位头保持平稳,最后连接线缆
8.将脚踏板线缆与真空装置相连,再将真空装置和探针放置在桌面上,脚踏板放置在地面上
9.将AFM控制器一段连接电源,另一端连接立柱探测器线缆
10.将摄像头线缆一段连接摄像头顶部,另一端连接电脑
11.将设备适配器一端连接电源,另一端连接AFM
12.将黄色电缆线一端通过USB网卡连接电脑,另一端连接AFM
1.从设备盒中取出定位头,将定位头正反面翻转后,将线缆部分对准设备盒的缺口处安置平稳
2.轻拉定位头侧边的开关后掰动,使AFM 扫描头的探针锁定杆处于打开状态
3.取出透明样品盒中待测试的样品片,使用真空装置的探针,将样品轻轻吸取,放入定位头的样品承载区中心,确保样品与承载区完全贴合,无倾斜和悬空
4.掰动定位头侧面的开关,使探针锁定杆关闭
5.再取出定位销薄片放在AFM扫描头的安装基座上,最后将整个定位头平稳安置
| AFM的参数 | |
|---|---|
扫描器 XY 扫描器: 最大扫描范围 50μm 分辨率 1nm Z 扫描器: 最大扫描范围 4μm 分辨率 0.1 nm | 电子系统 4 通道 24 位ADC 4 通道 24 位DAC 信号处理 40MHz 频率锌处理器 集成功能 10/100/1000 Mb/s 局域网 |
载物台 XY 载物台: 软件控制电动载物台(样品定位) 行程范围 15毫米 步长 40纳米 Z 载物台: 行程范围 15毫米, 步长 40纳米; 微悬臂自动接近样品表面(自动快速接近) | 软件 数据采集 实时 100 Mb/s,兼容 Windows 10 集成光学视窗(支持样品与探针可视化) 图像处理 独立软件(用于图像处理、数据分析与展示) 支持导出不同图像数据 兼容所有微软操作系统 |
样品安装 最大样品直径 20毫米 最大样品厚度 10毫米 含小型磁性样品架 样品偏压范围 -10V 至 +10V | 专用计算机配置 21.5 英寸一体机 Corei5-7500 处理器 8GB DDR4 内存 1920×1080 分辨率 |
顶视显微镜 800万像素(彩色) 60 倍至 600 倍光学变焦 集成照明 视场范围 260μm² 至 2.6mm² | 原子力显微镜单元 尺寸 300 毫米 ×400 毫米 ×300 毫米 重量 20 千克(不含包装) |
探头 千分尺螺钉实现高精度调节; 激光频率 670 nm; 激光二极管最大功率 5 mW | 选件 / 附件 即插即用 显微镜调光器 标准测试样品、样品安装套件、样品基底 探针更换套件(含真空笔、镊子、磁体盒) |