原子力显微镜

原子力显微镜简称AFM,是一种用于研究各类固体样品在纳米至微米尺度的表面形貌,和其纳米结构的工具,常见的核心样品有:

① 无机硬材料:硅片、晶圆、金属、陶瓷、石墨烯等

② 有机高分子材料:聚合物薄膜、高分子纤维、高分子复合材料等

③生物相关材料:蛋白质、DNA、细菌、生物膜、医用植入材料等

④其他:微纳材料、电极材料等


产品信息



AFM的基本原理是利用一根微米级的弹簧悬臂,其自由端带有一个锥形探针。探针尖端极为锋利,曲率半径通常小于 10 纳米,它会在极近的纳米级距离上扫描样品表面。

当探针在样品表面移动时,探针尖端原子与样品表面原子间的范德华力会发生变化,从而导致悬臂产生垂直位移。

从悬臂背面反射的激光束会照射到四象限光电二极管上,光电二极管的输出信号与悬臂的垂直运动相关,进而反映出样品的表面形貌。

同时AFM的主要功能是高分辨率成像、力学性能表征和电学功能表征等,因此AFM广泛应用于三大领域:

① 芯片半导体与电子行业:用于样品断面形状分析,例如晶圆断面、硅片断面、半导体器件断面;缺陷检测、分析器件漏电、表征晶圆结构或电极表面形貌

② 生物医学与生命科学:开展细胞研究,例如生物大分子结构研究、活细胞表面微纳形貌分析;表征生物材料,用于生物标志物检测与药物研发;

③ 材料科学与新能源:分析各类无机/有机/复合材料的微纳形貌,优化光伏、催化锂电/储能材料的结构优化与性能

其中大连费麦特纳米科技有限公司自主研发的AFM,针对于高科技产品质量控制;太阳能电池、半导体与集成电路;表面工程与材料科学;陶瓷与涂层;聚合物与化工产品;纳米尺度力学与电学性能;病理学、药物合成与医学;生物技术研究等领域尤其适用

二、AFM的对比优势

①体积小巧,外观设计优雅新颖

费麦特自主研发的AFM设计精巧,机身紧凑,仅占用实验室极小的空间,美观的外观设计也深受用户青睐

① 操作简单,极具用户友好性

费麦特AFM设备的操作极为便捷,且适配所有电脑类型,可搭配个人电脑、一体机或其他任意类型的电脑使用。其局域网功能仅需一根网线,即可完成电脑与设备之间的所有数据传输。

③性能高效,能在最短时间内完成纳米成像

简化的纳米成像操作流程,加之大幅缩短的纳米成像耗时。

优化的调平流程,可在最短时间内完成原子力显微镜探头的精准调平。

设备搭载高性能光学显微镜,可通过它完成扫描点的初始成像与选取。

费麦特采用最新的先进电子技术,大幅提升了新一代控制器的运行性能

借助快速逼近技术实现的省时特性,是费麦特的一大亮点。。

④安装便捷,且设备坚固耐用

三、AFM的组装使用

1.首先将显微镜的载物台从包装盒内取出放置在桌面上

2.再将测试台取出,通过侧面的旋钮调节测试台,露出前后螺丝孔,把测试台放在显微镜的载物台上,利用盒内扳手将四个短螺丝钉扭紧固定

3.将显微镜底座取出,对准测试台的螺丝孔,用四个长螺丝钉扭紧固定

4.将环形夹具套在显微镜底座上,扭紧前方的旋钮固定

5.将摄像头支架插入显微镜底座中,扭紧前方的旋钮固定

6.将立柱显微镜取出,先把适配器和电源连接线分离,再将立柱探测器放入支架中,然后将电源线重新连接好,并扭紧前方旋钮固定

7.将定位头从设备盒中取出,放置在AFM的三个支撑点上,先将后面两个支撑点固定好,再调整前面的支撑点,使定位头保持平稳,最后连接线缆

8.将脚踏板线缆与真空装置相连,再将真空装置和探针放置在桌面上,脚踏板放置在地面上

9.将AFM控制器一段连接电源,另一端连接立柱探测器线缆

10.将摄像头线缆一段连接摄像头顶部,另一端连接电脑

11.将设备适配器一端连接电源,另一端连接AFM

12.将黄色电缆线一端通过USB网卡连接电脑,另一端连接AFM

四、AFM的样品调试

1.从设备盒中取出定位头,将定位头正反面翻转后,将线缆部分对准设备盒的缺口处安置平稳

2.轻拉定位头侧边的开关后掰动,使AFM 扫描头的探针锁定杆处于打开状态

3.取出透明样品盒中待测试的样品片,使用真空装置的探针,将样品轻轻吸取,放入定位头的样品承载区中心,确保样品与承载区完全贴合,无倾斜和悬空

4.掰动定位头侧面的开关,使探针锁定杆关闭

5.再取出定位销薄片放在AFM扫描头的安装基座上,最后将整个定位头平稳安置


AFM的参数

扫描器

XY 扫描器:

最大扫描范围 50μm

分辨率 1nm

Z 扫描器:

最大扫描范围 4μm

分辨率 0.1 nm

电子系统

4 通道 24 位ADC

4 通道 24 位DAC

信号处理

40MHz 频率锌处理器

集成功能

10/100/1000 Mb/s 局域网

载物台

XY 载物台:

软件控制电动载物台(样品定位)

行程范围 15毫米

步长 40纳米

Z 载物台:

行程范围 15毫米,

步长 40纳米;

微悬臂自动接近样品表面(自动快速接近)

软件

数据采集

实时 100 Mb/s,兼容 Windows 10

集成光学视窗(支持样品与探针可视化)

图像处理

独立软件(用于图像处理、数据分析与展示)

支持导出不同图像数据

兼容所有微软操作系统

样品安装

最大样品直径 20毫米

最大样品厚度 10毫米

含小型磁性样品架

样品偏压范围 -10V 至 +10V

专用计算机配置

21.5 英寸一体机

Corei5-7500 处理器

8GB DDR4 内存

1920×1080 分辨率

顶视显微镜

800万像素(彩色)

60 倍至 600 倍光学变焦

集成照明

视场范围 260μm² 至 2.6mm²

原子力显微镜单元

尺寸

300 毫米 ×400 毫米 ×300 毫米

重量

20 千克(不含包装)

探头

千分尺螺钉实现高精度调节;

激光频率 670 nm;

激光二极管最大功率 5 mW

选件 / 附件

即插即用

显微镜调光器

标准测试样品、样品安装套件、样品基底

探针更换套件(含真空笔、镊子、磁体盒)