原子力显微镜(Atomic Force Microscope,简称AFM),是 1986 年由 IBM 苏黎世实验室 Binnig、Quate 与 Gerber 发明的新一代扫描探针显微镜(SPM)核心品类,是目前唯一可在大气、液相、真空、常温 / 高低温等多环境下,实现原子级空间分辨率的表面三维形貌成像与多物性定…
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【应用介绍】扫描电子显微镜是材料微观形貌表征、半导体晶圆缺陷检测、芯片失效分析的核心设备,通过聚焦电子束轰击样品,采集二次电子 / 背散射电子信号,实现纳米级分辨率的表面形貌成像,广泛应用于半导体、材料、地质、生物等领域。【电源核心作用】1.为电子枪提供 1…
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【应用介绍】X 射线分析检测设备是半导体材料表征、工业无损检测、成分分析的核心设备,包括 XRD X 射线衍射仪(单晶取向、晶体结构分析)、XRF X 射线荧光光谱仪(材料成分定量分析)、工业 CT/DR(封装内部缺陷、焊点空洞检测)、X 射线测厚仪(薄膜厚度纳米级测量),…
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【应用介绍】PMT/MCP 是实现单光子 / 单离子级微弱信号探测的核心器件,广泛应用于半导体晶圆缺陷光学检测、二次离子质谱仪(SIMS)、环境检测色谱仪、核辐射探测、荧光分析、生物医疗检测等领域,可将微弱光信号 / 离子信号放大 10⁶~10⁸倍,实现超高灵敏度检测。【电源…
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【应用介绍】是半导体分立器件、集成电路出厂前的核心可靠性测试环节,包括器件绝缘耐压测试、介电击穿测试、高温反偏老化测试(HTRB)、雪崩耐量测试、漏电流测试,筛选出存在缺陷的不合格器件,保障产品出厂可靠性,适配 IGBT、MOSFET、二极管、光耦、集成电路等全品类…
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