扫描电子显微镜是材料微观形貌表征、半导体晶圆缺陷检测、芯片失效分析的核心设备,通过聚焦电子束轰击样品,采集二次电子 / 背散射电子信号,实现纳米级分辨率的表面形貌成像,广泛应用于半导体、材料、地质、生物等领域。
1.为电子枪提供 1kV~30kV 超高稳定度加速高压,构建强电场使阴极发射的电子获得可控动能,形成准直电子束;
2.为电磁透镜、扫描偏转系统提供配套高压,实现电子束的精准聚焦与扫描;3.为探测器提供偏置高压,提升信号采集效率。
ppm 级长期电压稳定度,纹波≤10mVpp,超低噪声,高抗干扰,体积小巧可集成,适配国产台式 / 落地式 SEM 设备配套需求。
通过高压电源为电子枪提供超高稳定加速高压,使电子束聚焦后轰击样品,产生二次电子、背散射电子等特征信号;同时为探测器提供偏置高压,实现微弱信号的高效采集,通过信号处理形成纳米级分辨率的样品表面形貌图像。
半导体晶圆缺陷检测、芯片失效分析、材料微观结构表征、纳米材料研发、地质矿产检测。
