静电卡盘是光刻机、刻蚀机、镀膜机、晶圆检测设备的核心晶圆夹持部件，通过静电吸附力将晶圆牢牢固定在卡盘表面，相比机械夹持，可实现晶圆无应力全表面贴合，无局部形变，保障制程均匀性，是 12 英寸大尺寸晶圆制程的必备核心部件，分为库仑型、J-R 型两大类。
1.为静电卡盘的正负电极提供双极性高精度直流高压，在卡盘介电层与晶圆之间形成强静电场，通过库仑力 / J-R 力实现晶圆的稳定吸附；
2.精准调压实现吸附力的线性调节，适配不同厚度、不同材质晶圆的夹持需求；
3.内置高精度漏电流监测，实时反馈晶圆吸附状态，实现工艺闭环控制。
双路输出独立可调，电压控制精度≤0.1%，超低纹波，μA 级漏电流监测，微秒级异常保护，适配 12 英寸及以上大尺寸晶圆需求。
通过双极性高压电源为静电卡盘电极提供高精度直流高压，在介电层与晶圆之间形成强静电场，通过库仑力将晶圆无应力吸附在卡盘表面，保障晶圆在高速旋转、等离子体轰击、高温工艺下的稳定贴合，避免翘曲形变。
光刻机、刻蚀机、PVD/PECVD 镀膜机、晶圆探针台、晶圆检测设备。
